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气动低脉动波纹管泵FLP系列

FLP系列的特点

  • 低脉动

  • 通过激光位移传感器和接近开关不断监控波纹管的位置。泵本身无需任何附加设备即可减少脉动,因为控制器确定了通过电磁阀左右移动波纹管所需的适当相移量。

  • 减少传感器

  • 不需要外部传感器,因为波纹管的泵相位控制完全取决于设计中包含的激光和接近传感器的信号。

  • 高压力

  • 最佳的波纹管运动增加了持续的压力承受能力,在频繁的负载变化下,尤其是在单晶片加工中,可保持稳定的排放能力和压力。

  • 安全设计

  • 焊接的波纹管结构可防止液体泄漏。即使波纹管损坏,内置的泄漏传感器也会检测并提供反馈,以确保安全操作。image.png

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